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超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水系統(tǒng)設備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件、EDI系統(tǒng)和拋光混床,超純水系統(tǒng)設備通常由預處理部分,反滲透主機部分,后處理部分共同組成。